جهاز البلازما المحرقية الكثيفة وسيلة واعدة لترسيب الأفلام الرقيقة – دراسة عددية لمميزات حزمة أيونات صادرة عن جهاز بلازما محرقية كثيفة
الكلمات المفتاحية:
قبضة البلازما ، حزمة الأيوناتالملخص
تمّ في هذا البحث إجراء دراسة نظرية لإمكانية استخدام أجهزة البلازما المحرقية الكثيفة كإحدى طرق ترسيب الأفلام الرقيقة وذلك بالاستفادة من تميّز هذه الأجهزة بتشكل قبضة البلازما التي تعتبر منبع أيوني. تمّ إيجاد عدد وطاقة أيونات الآزوت الناتجة عن جهاز البلازما المحرقية الكثيفة NX2 وتغيراتها مع تغيّر ضغط الغاز. كما تمّ إيجاد طيف طاقة الأيونات الناتجة وتحديد قيمة ضغط غاز الآزوت التي يتحقق عندها أعلى طاقة يحملها أيون الآزوت وحساب عدد الأيونات الواصلة إلى ركيزة التيتانيوم من أجل الحصول على الفلم الرقيق TIN.
التنزيلات
منشور
2024-07-03
كيفية الاقتباس
جهاز البلازما المحرقية الكثيفة وسيلة واعدة لترسيب الأفلام الرقيقة – دراسة عددية لمميزات حزمة أيونات صادرة عن جهاز بلازما محرقية كثيفة. (2024). مجلة الجامعة الوطنية الخاصة, 1(1), 1-10. https://wpu.edu.sy/wpuj/index.php/wpuh/article/view/8
